GFC系列高性能全自动登录入口镀膜机
- 用途及特点
- 规格参数
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用途及特点
Use and Features
●适应于玻璃、塑胶等基片上镀制各类光学薄膜和其它机能性装饰薄膜的批量化生产
●采用******的电气控制系统，良好的用户操作界面，大大减轻作业人员的负担
●RCS自动镀膜控制系统******整个镀膜过程自动完成
●基片架转动采用磁流体密封技术******登录入口密封，中心驱动方式******薄膜产品的均匀性及重复性
●优化的配置、严格的品质控制******产品质量的稳定性和重复性
●排气速率.镀膜效率的提高，大大缩短了产品生产周期
GFC系列高性能全自动登录入口镀膜机
Series GFC High Quality Vacuum Thin Film Coater
技术参数
Technical parameters
Series GFC High Quality Vacuum Thin Film Coater
技术参数
Technical parameters
| 登录入口室体 Vacuum chamber |
Ø1300*1450mm，SUS304材质 φ1,300*1,450mm，SUS304 material |
| 排气系统 Air exhaust system |
KT-500扩散泵2台，总排气速率（加载水冷阱）11,000Pa.L/S Two sets of KT-500 diffusion pump, with a gross exhaust velocity (loaded with water-cooling trap) of 11,000Pa.L/S; |
| 极限登录入口≤2.0E-4Pa；排气时间≤15min(大气→4.0E-3Pa) Ultimate vacuum ≤2.0E-4Pa; exhaust time ≤15min (atmosphere→4.0E-3Pa) |
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| 基片架 Substrate holder |
Ø1200四叶扇形基片架， 3～30rpm转速；可选配行星基片架、翻转机构等 φ1200 four-blade sector-shaped substrate holder, rotating speed 3～30rpm; a planet substrate holder or a turnover mechanism can also be matched; |
| 加热机构 Heating means |
******350℃，PID控制；恒温20min后温度均匀性250±10℃ Maximum 350℃, PID control; temperature homogeneity being 250±10℃ after 20 min of constant temperature control; |
| 石英监控仪 Quartz monitor |
进口石英晶体膜厚监控仪；2点（或6点）晶振探头 Imported quartz crystal monitor on film depth, with two-point (or six-point) crystal probe; |
| 电子束蒸发源 Electron beam evaporation source |
10KW电子枪 2台，12点坩埚和环形坩埚 Two sets of 10KW electron gun, 12-point crucible or ring-shaped crucible; |
| 电阻蒸发源 Resistance evaporation source |
功率4KW（一对、两对或多对） Power of 4KW (one pair, two pairs or more pairs) |
| 膜厚修正板 Film depth correction board |
2个自动可倒式膜厚修正机构 Two automatic film depth correction mechanisms of collapsible type |
| 反应气体 Reaction gas |
APC自动压强控制仪，质量流量计 APC automatic pressure controller, mass flowmeter |
| 离子源 Ion source |
可选配Kafman、Holl或RF离子源 Available for matching of Kafman, Holl or RF ion source |
| 低温抽气装置 Low temperature evacuating equipment |
进口低温抽气装置有效捕集水蒸汽，******温度－130℃ The imported low-temperature evacuating equipment can effectively gather water vapor; minimum temperature -130℃ |
| RCS系统 RCS system |
基于WINDOWS的全自动镀膜软件 Windows-based full automatic coating software |
| 控制系统 Control system |
控制柜（液晶触摸式彩色显示器），远程控制遥控盒 Control cabinet (with liquid crystal color touch screen), remote-control box for remote control |
| 消耗能源 Energy consumption |
3相，220/380VAC,50Hz；～70KVA Three-phase, 220/380VAC,50Hz；～70KVA |
| 水流量140L/min，压力0.3~0.5MPa Water flow 140L/min, pressure 0.3~0.5MPa |
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| 压缩空气0.5MPa~0.7MPa Compressed air 0.5MPa~0.7MPa |
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| 重 量 Weight |
净重约4500Kg Net weight about 4,500 Kg |
| 安装空间 Installation space |
W4000mmxD6000mmxH2700mm W4,000mm×D6,000mm×H2,700mm |
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