技术指标
 
●加速电压：-6KV～-10KV
●******电子束流：1A
●******功率：10KW
●电子束偏转角：270°
●电子束扫描范围：15mm×15mm(X/Y)
●冷却水速率：******速度8L／分(水温在15℃～25℃，压差不低于0.1MPa，******压力不高于0.3MPa)
●气密性：漏率不高于1.33×10-5Pa.L/S
●工作登录入口度范围：5×10-4Pa～5×10-2Pa
●外形尺寸：W148×H158×Dl84(mm)
●重量：约10Kg