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登录入口获得设备
RK GGC-D10坩埚传动装置
用途及特点
规格参数
产品特点
●'RK GGC-D10型坩埚传动装置为外置式传动系统;
●整个装置分为坩埚水冷部分和传动部分(如图);两部分结构模块化构成两个整体,对安装、拆卸、维护、修理特别方便简捷。
●可承载实际情况下的任意穴位的坩埚;
●满足传动轴动密封和磁流体密封互换,任意选用;
●坩埚可从登录入口室体上方取出,方便清洁维护;
●强大扭矩有效防止步进电机丢步情况发生。
技术指标
●安装条件:竖直安装;登录入口室底板开孔为φ40mm~φ60mm;
●采用减速电机传动:减速器减速比为1:32,电机为步进电机;
●传动方式:中心主轴传动;
●冷却水速率:10L/分~20L/分(水温需在15℃~25℃);
●转动扭矩:74Nm。
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RK DZQ270-1A电子束蒸发源
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