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型号
Mode
技术参数
Technical Data
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L1216Ⅱ-1（单工位） |
L1211Ⅱ-1（单工位） |
L12800-1（双工位） |
L1210Ⅱ（双工位） |
加热方式
Heating Mode |
钼片电阻加热
Molybdenum sheet |
钼片电阻加热
Molybdenum sheet |
镍铬丝电阻加热（外加热）
Ni-Cr（Exteral） |
镍铬丝电阻加热
（外加热）
Ni-Cr（Exteral） |
******加热温度
（空炉）
Max.Heating Temperature（no-load） |
1600℃ |
1100℃ |
800℃ |
1000℃ |
炉温均匀性
Furnace Temperature Uniformity |
±5℃ |
±5℃ |
±5℃ |
±5℃ |
有效均温区（mm）
Effective Temperature Dimension |
610W×458H×914L |
610W×610H×920L |
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炉膛尺寸
Furnace Chamber Dimension |
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Φ204×800 mm |
Φ204×800 mm |
控温精度
Temperature Control Precision |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
温控方式
Control Mode |
具有手动、自动，曲线设定及储存，升、保、降温双向控制
Manual/Auto |
登录入口系统
Vacuum System |
扩散泵系统
Diffusion Pump System |
扩散泵系统
Diffusion Pump System |
扩散泵系统
Diffusion Pump System |
扩散泵系统
Diffusion Pump System |
极限登录入口度
（空炉）
Ultimate Pressure |
6×10-4Pa |
4×10-4Pa |
1×10-3Pa |
1×10-3Pa |
工作登录入口度
Working Vacuum |
2×10-3Pa |
4×10-3Pa |
1×10-2Pa |
1×10-2Pa |
压升率
Pressure Rise Rate |
0.67 Pa/h |
0.67 Pa/h |
0.67 Pa/h |
0.67 Pa/h |
快冷系统
Cooling Air |
500℃～200℃时间≤20min |
压缩空气
Compressed Air |
0.6 M Pa～0.8 M Pa |
0.6 M Pa～0.8 M Pa |
0.6 M Pa～0.8 M Pa |
0.6 M Pa～0.8 M Pa |
设备总功率
Total Power |
260 KW |
140 KW |
13 KW |
16 KW |
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