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型号
Mode
技术参数
Technical Data
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L1113Ⅱ-1 |
L1112Ⅱ-1（无油） |
L1122Ⅱ-1 |
| ******加热温度（空炉 ）Max.Heating Temperature（no-load） |
1300℃ |
1200℃ |
2200℃ |
额定工作温度
Rated Working Temperature |
1200℃ |
1100℃ |
2100℃ |
加热方式
Heating Mode |
钨杆组（一段加热）Tungsten Rods |
钨杆组（一段加热）Tungsten Rods |
钽皮
Tantalum sheet |
炉温均匀性
Furnace Temperature Uniformity |
±5℃ |
±5℃ |
±5℃ |
炉膛尺寸
Furnace Chamber Dimension |
Φ200×300 mm |
Φ200×300 mm |
Φ75×200 mm |
控温精度
Temperature Control Precision |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
空载室温到工作温度时间
From Room Temperature to working temperature |
< 40Min |
< 40Min |
< 40Min（2100℃） |
登录入口系统
Vacuum System |
扩散泵系统
Diffusion Pump System |
分子泵系统
Turbo Pump System |
分子泵系统
Turbo Pump System |
极限登录入口（空炉）
Ultimate Pressure（no-load） |
5×10-3Pa |
7×10-4Pa |
1.3×10-5Pa |
工作登录入口度
Working Vacuum |
5×10-2Pa |
7×10-3Pa |
5×10-4Pa |
压升率
Pressure Rise Rate |
0.67 Pa/h |
0.5 Pa/h |
0.67 Pa/h |
冷却水压
Cooling Water Pressure |
0.2 M Pa～ 0.3 M Pa |
0.2 M Pa～ 0.3 M Pa |
0.2 M Pa～ 0.3 M Pa |
总重量
Total Weight |
1800Kg |
1800 Kg |
1800 Kg |
设备总功率
Total Power |
30 KW |
22 KW |
30 KW |
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